Le triméthylaluminium (TMAI) est une matière première essentielle pour la production d'autres sources organométalliques utilisées dans les procédés de dépôt par couche atomique (ALD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Le triméthylaluminium est l'un des composés organoaluminiques les plus simples. Bien que son nom suggère une structure monomérique, sa formule est en réalité Al2(CH3)6 (abrégé en Al2Me6 ou TMAI), et il existe sous forme de dimère. Ce liquide incolore est pyrophorique et joue un rôle industriel important, étroitement apparenté au triéthylaluminium.
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